真空科学与技术学报杂志社
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《真空科学与技术学报》2022年10期

 
目录
综述评述
高能电子束电磁透镜的研究进展 唐腾飞;刘海浪;岳高;唐杰;宁蔚;刘坤明;骆玉城;719-725
研究快报
基于温度场原理的真空管道真空度测试系统平台设计与实现 曹虎银;姜浩;王强;李纪虎;曾群锋;726-730
涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究 匡永麟;王晓冬;张国玉;张鹏飞;杜志华;731-736
研究论文
低真空测量光学谐振腔的设计与分析 黄新宇;余清洲;杨庆喜;陈肇玺;王进;王新广;陈仕琳;737-744
宽量程真空传感器可靠性强化试验及故障分析 杜晓辉;刘帅;朱敏杰;王美聪;林红;745-753
基于unity3D的真空泵性能参数测试系统研制 胡戎兴;干蜀毅;章恒;余清洲;舒晓冬;张东庆;754-760
连续电子束扫描处理的U-5.5Nb合金的表面层微结构和性能 李文鹏;杨苏;刘泾源;赵福泽;陈冬;李鱼飞;廖俊生;761-768
样品辐照电子源的研发 石晓倩;陈雪颖;郭方准;769-773
CeO2缓冲层层数对YBa2Cu3O7-σ超导薄膜载流能力的影响 张博;陈志杰;潘天宇;赵培;774-780
3D NAND存储芯片刻蚀设备选型和数量配置研究 程星华;曹东;白帆;宋恺;781-785
技术交流
大型连续式氢化脱氢制取高纯钛粉设备的研制与应用 马强;边悦;王占奇;786-790
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