目录
功能薄膜
氮化硅减反射膜制备工艺对组织结构及折射率影响的研究高越;王宙;付传起;杨梓健;项永矿;455-459
退火工艺对真空蒸镀Zn-Mg镀层耐蚀性的影响邱肖盼;刘昕;刘秋元;江社明;张启富;460-465
窄流道式MOCVD制备YGBCO超导层研究苟继涛;赵睿鹏;徐一鲡;贺冠园;陈然;陶伯万;466-471真空技术与理论
低温吸附泵用椰壳活性炭材料的结构测试分析丁配之;王国栋;陈长琦;谢远来;胡纯栋;NBI团队;472-476
真空金属镀膜显现手印操作技巧研究张晓梅;贾东兴;白钢;焦彩洋;477-481等离子体技术
等离子体压强和粘度效应的线性化数值分析杨舒棉;代玉杰;王学慧;482-484
大气压射频单介质阻挡放电中放电通道收缩现象的研究毛志国;刘忠伟;李森;陈强;485-489纳米技术
60Coγ射线辐照单层石墨烯的损伤效应乔世英;李丹明;杨生胜;龚成师;黄一凡;490-494
多孔铁碳基MOF材料的制备及其锂电性能研究刘佳慧;杨尊先;钱堃;叶冰清;郭太良;495-503工艺设备
镍元素对AgCu28钎焊焊缝的影响李芬;胡小华;朱虹;田宏;田青;刘燕文;504-507
碳/碳-碳化硅复合材料制备及性能研究王德文;曹旭;唐伟;李聪;张宁;508-512结构薄膜
汽车发动机用ZL114合金表面涂层制备与性能研究向峻伯;王从明;陈凯镔;夏志东;陶沙沙;赵文婕;513-518太阳能利用技术
HWCVD法掺氧氢化非晶硅(a-SiO_x:H)钝化n-Cz-Si研究何玉平;袁贤;刘宇;刘宁;黄海宾;519-523真空冶炼
含铌铁矿粉选择性还原富集铌的正交实验研究陈义胜;武锦;闫永旺;石强;冯运来;李佳琦;524-528其他
CFETR真空室焊接接头力学性能分析万志康;凌堃;陈长琦;王锐;刘志宏;吴杰峰;529-535
《真空科学与技术学报》征稿说明536