目录
等离子体技术
细长石英管内直流放电等离子体研究王权;王波;刘云辉;张天一;259-263
工作参数对磁场增强高功率脉冲磁控溅射放电特性的影响李春伟;田修波;宋炜昱;赵美君;张旭;孙梦凡;白翔云;黄洁;梁家鹏;264-271
PCB板静电放电的仿真分析许文婷;杨兰兰;屠彦;272-278
高频宽气隙介质阻挡放电负载特性研究穆昱;李常青;刘平;张旭;279-283
EAST锂化系统的优化及其对等离子体性能的影响徐伟;孙震;左桂忠;孟献才;黄明;钱玉忠;胡建生;284-289真空技术与理论
石英晶振真空度检测系统李党娟;王顺录;王娜;林彤;290-295
基于ANSYS Workbench的薄壁二极铁真空室优化设计蔺晓建;蒙峻;杨伟顺;刘建龙;李长春;谢文君;296-301
基于质谱图特征峰匹配的谱库预检索算法黄嵩;俞建成;张俊良;朱强;302-305功能薄膜
等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜樊启鹏;胡玉莲;桑利军;王卉;刘忠伟;306-312
AZO与ITO薄膜电磁散射特性对比试验研究刘战合;王晓璐;王菁;姬金祖;周鹏;赵辉;313-319
多场耦合下铁电薄膜非线性行为的畴变模型张阳军;王炳琴;周益春;320-323结构薄膜
硬质涂层与齿轮钢的摩擦性能研究成伟;彭继华;苏东艺;杜日昇;324-331
锆合金表面磁控溅射制备SiC/Cr复合涂层的研究王晓婧;刘艳红;冯硕;李怀林;332-338纳米技术
CdxZn1-xSeyS1-y量子点/PVDF纳米复合薄膜的制备与性能研究张余祥;杨尊先;刘佳慧;郑康;郭太良;339-344
富氮N2/CH4/H2体系中金刚石纳米线的制备研究龚耀庭;345-351
《真空科学与技术学报》征稿说明352