真空科学与技术学报杂志社
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《真空科学与技术学报》2023年09期

 
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研究快报
ICPCVD低温生长非晶硅的工艺及光学特性研究 王进;张伟;冷家君;韩鹤彬;沈文超;陆铖灵;张学敏;731-737
基片温度对脉冲激光沉积ZnS:Co薄膜微结构及光学性质的影响研究 李树锋;王丽;高东文;738-744
研究论文
EAST装置中TZM材料基底表面硅化镀膜特性研究 管艳红;左桂忠;孟献才;徐伟;黄明;胡建生;745-753
真空高温热解炉多均匀化温度优化设计 武炳鑫;许鸣皋;张俊;王旭迪;杨玖重;754-761
喷嘴出口状态对水蒸汽喷射器流动行为及其性能的影响 张国玉;王晓冬;刘静雯;762-770
CO2/Ar气液相等离子体处理盐酸四环素的研究 胡佳俊;陈雪燕;程诚;沈洁;771-781
等离子体协同Ce-Mn催化火驱尾气中甲烷转化的实验研究 马婷婷;韩微笑;朱昌健;陶正德;唐波;李森;782-788
楔形介质层对大气压介质阻挡放电的影响研究 李建;王坤;王世庆;金凡亚;但敏;789-795
低气压极不均匀场二次流注形态及机理研究 杨亚奇;阚常涛;秦昌龙;李莉;顾世龙;796-804
单向切割真空绝热板热桥效应研究 赵洪凯;王宗灿;徐岩;805-811
一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计 南敬昌;高飞;李德润;翟雷应;李朝启;刘世泽;812-818
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