真空科学与技术学报杂志社
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《真空科学与技术学报》2022年06期

 
目录
研究快报
朗缪尔三探针方法脉冲火花放电等离子体诊断姜梦琦;杨勃行;郝胜智;卢健;李伟;陈军;411-416
双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响米茂渊;陈叔平;成永军;孙雯君;裴晓强;贾春旺;吴宗礼;马晓勇;417-421
技术交流
基于可视化的真空镀膜装备专利竞争技术分析叶俊文;黎子辉;高峰;李晓刚;王鸿志;422-429
研究论文
铝栅极降低氧化铟锡薄膜表面电阻付潇潇;郑卓;王取泉;李建民;肖旭东;430-435
绿色背景下多波段兼容隐身薄膜研究丁成龙;时家明;邓学松;刘彪;李志刚;436-441
二元锰钒氧化物薄膜的制备及室温铁磁性研究王婉平;刘凯;田建军;刘献省;康朝阳;442-447
铸造工艺对ADC-12再生铝合金显微组织和力学性能的影响胡凯亮;陈炜晔;胡洪铭;耿桂宏;448-455
碘工质霍尔推力器原理样机设计与实验研究徐宗琦;田雷超;叶展雯;王平阳;杭观荣;456-461
基于毫米级圆柱结构的柔性电容式压力传感器研究魏国;廖宁波;章城;462-468
兰州重离子加速器二极磁铁准直调节装置设计牛玉艳;郑亚军;张总;王亮;李宝栋;林小军;469-474
类金刚石膜对铝合金疏水结构耐久性能影响于欣淼;陈东旭;霍婧雅;吴浩东;周艳文;475-481
中国真空学会2022年活动计划483-484
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