真空科学与技术学报杂志社
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《真空科学与技术学报》2022年02期

 
目录
综述评述_专题:低温纳米生物技术
多尺度生命材料高压低温保存研究进展常铁;卫思源;安琪;宋清雅;张兵;赵刚;83-93
研究快报
EAST辉光放电清洗电极的升级及实验研究曹红梅;余耀伟;曹斌;周德泽;左桂忠;胡建生;94-98
基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究董茂进;冯煜东;韩仙虎;蔡宇宏;秦丽丽;王毅;王冠;马凤英;王济洲;99-103
研究论文
磁控溅射制备铝掺杂氮化铜薄膜的结构及光电性能研究崔馨予;吴文静;卢学良;彭香伟;肖剑荣;104-109
干式螺杆真空泵转子成型加工及其刃形计算李丹童;何志龙;邢子文;110-117
基于平面域水平可视图的真空灭弧室静态绝缘优化设计与分析马士奇;刘晓明;陈海;姜文涛;李培源;118-124
毫米波空间谐波磁控管效率探析黎深根;李凤玲;雷雪峰;王冬冬;125-131
双螺杆真空泵变截面锥形螺杆转子的构建与几何性能研究赵利壮;赵玺皓;王君;沙润东;王增丽;耿茂飞;132-138
利用VOF模型模拟水环真空泵的气液两相流郑志富;孟凡瑞;赵国勇;赵玉刚;徐双;李春霄;139-144
基于FLUENT的真空干燥箱参数优化及仿真分析于洋;贾智旗;杨国锋;任玉斌;王关;王强;陈廷敏;145-150
氮极性GaN/In0.17Al0.83N高电子迁移率晶体管材料机理与器件特性分析王现彬;高彦彦;周淑芬;151-158
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